一種石墨等脆性坩堝內(nèi)晶體取出工裝

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202110521999.4 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN113151904A 公開（公告）日 2021-07-23
申請(qǐng)公布號(hào) CN113151904A 申請(qǐng)公布日 2021-07-23
分類號(hào) C30B35/00 分類 晶體生長〔3〕;
發(fā)明人 唐飛;姜大朋;錢小波;王慶國;蘇良碧;賈健;許艷濤 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 上海德硅凱氟光電科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 上海驍象知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 趙峰
地址 201802 上海市嘉定區(qū)真南路4268號(hào)2幢J16043室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 一種石墨等脆性坩堝內(nèi)晶體取出工裝，包括坩堝固定工裝和翻轉(zhuǎn)工裝，坩堝固定工裝包括外殼體，外殼體為兩端開口結(jié)構(gòu)，外殼體上端通過螺栓固定安裝有上封蓋，外殼體內(nèi)腔下方固定安裝有支撐環(huán)形臺(tái)，外殼體下端設(shè)置有下封蓋，下封蓋的上端面與支撐環(huán)形臺(tái)相抵觸；翻轉(zhuǎn)工裝包括臺(tái)架，臺(tái)架的一側(cè)設(shè)置有放置平臺(tái)，臺(tái)架上端固定安裝有兩組軸承座，外殼體外部固定套接有固定外套件，固定外套件兩側(cè)表面中間均固定安裝有轉(zhuǎn)動(dòng)軸，轉(zhuǎn)動(dòng)軸轉(zhuǎn)動(dòng)連接在兩組軸承座內(nèi)。本發(fā)明克服了現(xiàn)有技術(shù)的不足，在不損壞坩堝的情況下，能夠?qū)⒕w從坩堝中完整取出。