一種應(yīng)用在血壓計(jì)中的MEMS接觸式力傳感器及其制備方法

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201410269666.7 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN105310669A 公開（公告）日 2016-02-10
申請(qǐng)公布號(hào) CN105310669A 申請(qǐng)公布日 2016-02-10
分類號(hào) A61B5/021(2006.01)I 分類 醫(yī)學(xué)或獸醫(yī)學(xué)；衛(wèi)生學(xué);
發(fā)明人 周浩楠;張威;蘇衛(wèi)國;李宋;陳廣忠 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 北京敏易聯(lián)傳感技術(shù)有限公司
代理機(jī)構(gòu) - 代理人 -
地址 100871 北京市海淀區(qū)上地七街1號(hào)2號(hào)樓720室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種應(yīng)用在血壓計(jì)中的MEMS接觸式力傳感器及其制備方法。本發(fā)明的力傳感器包括：襯底，鍵合體，接觸體，應(yīng)變膜和壓阻條；其中，在襯底正面采用注入，褪火的方法形成壓阻條。從襯底背面挖腔體，刻蝕出應(yīng)變膜，應(yīng)變膜正面粘合或鍵合一個(gè)可垂直面運(yùn)動(dòng)的接觸體，接觸體的觸頭不鍵合，并與應(yīng)變膜面剛好接觸，不施加外力?？拷佑|體與人體的上臂或者腕部皮膚接觸，主動(dòng)脈的振動(dòng)，壓力傳遞，使傳感器的惠斯通橋路的變化，監(jiān)測(cè)到脈沖信號(hào)，然后通過科學(xué)的算法來測(cè)定人體血壓。從而在系統(tǒng)體積比較小的情況下可以測(cè)量較精確的接觸式的微作用力，是一種體積相對(duì)較小、靈敏度高的傳感器，在血壓計(jì)等可穿戴醫(yī)療設(shè)備中有著極為廣闊的應(yīng)用前景。