旋轉(zhuǎn)鍍膜機構(gòu)及其應(yīng)用的連續(xù)式鍍膜生產(chǎn)線

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202020996802.3 申請日 -
公開（公告）號 CN213172551U 公開（公告）日 2021-05-11
申請公布號 CN213172551U 申請公布日 2021-05-11
分類號 C23C14/50;C23C14/56 分類 對金屬材料的鍍覆；用金屬材料對材料的鍍覆；表面化學(xué)處理；金屬材料的擴散處理；真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學(xué)氣相沉積法的一般鍍覆；金屬材料腐蝕或積垢的一般抑制〔2〕;
發(fā)明人 高文波;李小彭;張亞寧 申請（專利權(quán)）人 洛陽生波爾真空裝備有限公司
代理機構(gòu) 中山市捷凱專利商標(biāo)代理事務(wù)所（特殊普通合伙） 代理人 石仁
地址 471000 河南省洛陽市新安縣洛新產(chǎn)業(yè)集聚區(qū)廣深路3號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本申請涉及真空鍍膜領(lǐng)域，尤其涉及一種旋轉(zhuǎn)鍍膜機構(gòu)及其應(yīng)用的連續(xù)式鍍膜生產(chǎn)線，旋轉(zhuǎn)鍍膜機構(gòu)包括可裝夾基板工件的基片架，基片架上設(shè)置有可隨基片架滑動的滾筒組件、以及帶動滾筒組件轉(zhuǎn)動的傳動機構(gòu)，滾筒組件包括轉(zhuǎn)動本體，轉(zhuǎn)動本體上設(shè)有用于支撐圓筒形工件的支撐部，圓筒形工件支撐于該支撐部上且可隨轉(zhuǎn)動本體相對基片架轉(zhuǎn)動以實現(xiàn)真空鍍膜。本申請在原有設(shè)備中增加可實現(xiàn)圓筒形工件鍍膜的旋轉(zhuǎn)鍍膜機構(gòu)，增加鍍膜產(chǎn)品種類，既可在基片架上裝夾大型平板，完成平板工件的鍍膜，也可在滾筒組件上裝設(shè)圓筒形工件，完成圓筒形工件的鍍膜，可鍍產(chǎn)品種類增加，提高設(shè)備利用率，減少企業(yè)投入多種設(shè)備，降低投資成本。