高度自動補(bǔ)償穩(wěn)定測量裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202120255741.X 申請日 -
公開（公告）號 CN214099587U 公開（公告）日 2021-08-31
申請公布號 CN214099587U 申請公布日 2021-08-31
分類號 H01L21/66（2006.01）I;H01L21/677（2006.01）I;H01L21/687（2006.01）I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 陳鵬;查進(jìn);阮開滄;曲東升;李長峰 申請（專利權(quán)）人 銘賽機(jī)器人科技（東莞）有限公司
代理機(jī)構(gòu) 常州至善至誠專利代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 趙旭
地址 213100江蘇省常州市武進(jìn)區(qū)常武中路18號常州科教城銘賽科技大廈
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型公開了一種高度自動補(bǔ)償穩(wěn)定測量裝置，包括：工件輸送裝置，工件輸送裝置上承載有工件；三維運(yùn)動平臺，三維運(yùn)動平臺設(shè)于工件輸送裝置的上方，三維運(yùn)動平臺上設(shè)有高度測量裝置和視覺識別裝置，高度測量裝置和視覺識別裝置在三維運(yùn)動平臺的驅(qū)動下在xy平面內(nèi)活動；頂升機(jī)構(gòu)，頂升機(jī)構(gòu)設(shè)于工件的下方，頂升機(jī)構(gòu)的一部分可沿z軸活動，以將工件頂起。本實用新型結(jié)構(gòu)簡單，通過將高度測量裝置和視覺識別裝置設(shè)置為在xy平面內(nèi)活動，避免了高度方向的測量誤差，同時利用頂升機(jī)構(gòu)調(diào)節(jié)將工件頂起的高度，實現(xiàn)了高度自動補(bǔ)償，檢測與調(diào)試動作分離，相互之間不干擾，檢測精度和加工效果得到提高。