一種電鏡輸入氣路智能控制系統(tǒng)

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202022607624.3 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN213749676U 公開（公告）日 2021-07-20
申請(qǐng)公布號(hào) CN213749676U 申請(qǐng)公布日 2021-07-20
分類號(hào) G01N23/2206（2018.01）I;G01N30/02（2006.01）I;G05B19/05（2006.01）I 分類 測(cè)量；測(cè)試;
發(fā)明人 任憲平;劉偉;劉岳峰;蔣倩;徐尚君;苗澍;黃興;楊冰;吳卓克;杜霞茹 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 大連凱特利催化工程技術(shù)有限公司
代理機(jī)構(gòu) 沈陽科苑專利商標(biāo)代理有限公司 代理人 汪海
地址 116023遼寧省大連市沙河口區(qū)中山路457-41號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型涉及電鏡輔助系統(tǒng)領(lǐng)域，具體地說是一種電鏡輸入氣路智能控制系統(tǒng)，包括增濕罐、靜態(tài)混合器、輸出氣路和多個(gè)輸入氣路，輸入氣路上設(shè)有管道隔膜閥、純化柱、過濾器、入口壓力表、減壓器、出口壓力表、第一質(zhì)量流量計(jì)、流量計(jì)出口逆止閥和氣路控制閥，各個(gè)輸入氣路的輸出端均與一個(gè)中間管路相連，所述中間管路的輸出端與靜態(tài)混合器一側(cè)相連，靜態(tài)混合器另一側(cè)與輸出氣路相連，且所述輸出氣路上設(shè)有電磁開關(guān)閥、電動(dòng)調(diào)節(jié)閥和真空硅，靜態(tài)混合器下端與排出氣路相連，增濕罐設(shè)于任一輸入氣路與靜態(tài)混合器之間。本實(shí)用新型減少占地空間，減小誤差，減少調(diào)節(jié)步驟，節(jié)約調(diào)節(jié)時(shí)間，減少成本，可以按預(yù)定方案進(jìn)行通氣、沖洗、配比。