料盒夾具、料盒傳送裝置以及半導(dǎo)體生產(chǎn)線

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202120743834.7 申請日 -
公開（公告）號 CN214378368U 公開（公告）日 2021-10-08
申請公布號 CN214378368U 申請公布日 2021-10-08
分類號 H01L21/673（2006.01）I;H01L21/677（2006.01）I;H01L21/687（2006.01）I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 鄧金敏;傅江成;袁勇;黃社金;梁秋發(fā) 申請（專利權(quán)）人 廣東省電子技術(shù)研究所
代理機(jī)構(gòu) 北京品源專利代理有限公司 代理人 胡彬
地址 510630廣東省廣州市中山大道西61-65號電子科技大廈
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型涉及半導(dǎo)體加工技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種料盒夾具、料盒傳送裝置以及半導(dǎo)體生產(chǎn)線。該料盒夾具包括安裝架、吸附機(jī)構(gòu)和夾持機(jī)構(gòu)，吸附機(jī)構(gòu)設(shè)置于安裝架上用于吸附料盒，夾持機(jī)構(gòu)包括第一夾持組件和第二夾持組件，第一夾持組件能沿第一方向?qū)⒘虾袏A持，第二夾持組件能沿第二方向?qū)⒘虾袏A持，第一方向和第二方向不同。本實(shí)用新型的料盒夾具通過吸附機(jī)構(gòu)吸取料盒，第一夾持組件和第二夾持組件分別沿不同方向同時(shí)對料盒進(jìn)行夾持，能保證料盒在運(yùn)動過程中穩(wěn)定運(yùn)輸且不發(fā)生晃動，防止吸附組件負(fù)壓不足導(dǎo)致料盒掉落。本實(shí)用新型提供的料盒傳送裝置以及半導(dǎo)體生產(chǎn)線通過應(yīng)用上述料盒夾具，能夠達(dá)到提高生產(chǎn)效率的效果。