一種提升垂直腔面發(fā)射激光器濕法氧化工藝均勻性的方法及裝置
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN202010002979.1 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開(kāi)（公告）號(hào) | CN111162452A | 公開(kāi)（公告）日 | 2020-05-15 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN111162452A | 申請(qǐng)公布日 | 2020-05-15 |
| 分類號(hào) | H01S5/183;F27B17/00 | 分類 | 基本電氣元件; |
| 發(fā)明人 | 羅玉輝;程元紅;何兵 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 | 新亮智能技術(shù)（中山）有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 廣州海心聯(lián)合專利代理事務(wù)所（普通合伙） | 代理人 | 深亮智能技術(shù)（中山）有限公司 |
| 地址 | 528400 廣東省中山市火炬開(kāi)發(fā)區(qū)東鎮(zhèn)東一路32號(hào)3幢廠房一層 | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本發(fā)明公開(kāi)了一種提升垂直腔面發(fā)射激光器濕法氧化工藝均勻性的方法，將垂直腔面發(fā)射激光器放置加熱爐中，啟動(dòng)加熱爐加熱至反應(yīng)溫度，然后將水蒸汽以恒定流量由載氣帶入加熱爐，水蒸汽和垂直腔面發(fā)射激光器的外延片中暴露的高鋁組分化合物發(fā)生反應(yīng)，形成氧化物限制結(jié)構(gòu)，即氧化鋁絕緣層。本發(fā)明還提供了提升垂直腔面發(fā)射激光器濕法氧化工藝均勻性的裝置。本發(fā)明中的VCSEL濕法氧化用于反應(yīng)的水蒸汽由恒定水流量的蒸汽發(fā)生裝置產(chǎn)生，水蒸汽流量穩(wěn)定且恒定，能夠穩(wěn)定控制氧化深度，提高氧化的均勻性和重復(fù)性，解決了現(xiàn)有方法中氮?dú)鈹y帶水蒸汽的量不穩(wěn)定導(dǎo)致氧化深度穩(wěn)定性不易控制的問(wèn)題。 |
