一種垂直腔面發(fā)射激光器的濕法氧化工藝及裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201810959116.6 申請日 -
公開（公告）號 CN109193340A 公開（公告）日 2019-01-11
申請公布號 CN109193340A 申請公布日 2019-01-11
分類號 H01S5/183 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 羅玉輝;程元紅;鄺智豪;黃逸生 申請（專利權(quán)）人 新亮智能技術（中山）有限公司
代理機構(gòu) 廣州市越秀區(qū)海心聯(lián)合專利代理事務所（普通合伙） 代理人 深亮智能技術（中山）有限公司;新亮智能技術（中山）有限公司
地址 528400 廣東省中山市火炬開發(fā)區(qū)東鎮(zhèn)東一路32號3幢廠房一層
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種垂直腔面發(fā)射激光器的濕法氧化工藝及裝置，將垂直腔面發(fā)射激光器放置加熱爐中，啟動加熱爐加熱至反應溫度，然后按反應比例向點火裝置通入氫氣和氧氣并點火燃燒，燃燒生成的水蒸汽通入加熱爐，所述水蒸汽和垂直腔面發(fā)射激光器的外延片中暴露的高鋁組分化合物發(fā)生反應，形成氧化物限制結(jié)構(gòu)，即氧化鋁絕緣層。本發(fā)明提供的方法以氫氣和氧氣燃燒產(chǎn)生水蒸汽通入放置有VCSEL激光器的加熱爐中，實現(xiàn)高含鋁層中鋁的氧化。