一種DPC工藝用鏡面氮化鋁陶瓷基板的高活性預處理方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201610040986.4 申請日 -
公開（公告）號 CN105679684B 公開（公告）日 2018-10-09
申請公布號 CN105679684B 申請公布日 2018-10-09
分類號 H01L21/48;H01L21/02 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 余正剛;鄒冠生;單春光;余會;馮華忠;余正偉 申請（專利權）人 中山市瑞寶電子科技有限公司
代理機構 中山市銘洋專利商標事務所（普通合伙） 代理人 鄒常友
地址 528400 廣東省中山市南朗鎮(zhèn)大車工業(yè)區(qū)東椏工業(yè)園B幢3樓(中山市嘉興電子有限公司側)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種DPC工藝用鏡面氮化鋁陶瓷基板的高活性預處理方法，具體步驟為：一、配制活化溶液；二、鏡面氮化鋁陶瓷基板表面除油處理，在除油溶液中浸泡15～300min后，用純水沖洗干凈；三、鏡面氮化鋁陶瓷基板表面除蠟處理，在除蠟水中浸泡15～300min；四、鏡面氮化鋁陶瓷基板表面活化；五、用去離子水沖凈鏡面氮化鋁基板表面，冷風吹干鏡面氮化鋁陶瓷基板上的水后，置于烘箱中烘烤30～180min，自然冷卻后得到高活性的鏡面氮化鋁陶瓷基板。本發(fā)明有效降低了鏡面氮化鋁陶瓷基板DPC工藝中前處理時對鏡面氮化鋁表面的損傷，在氮化鋁陶瓷基板表面形成一層超薄的高活性膜層，對金屬元素具有強浸潤作用和附著能力，特別適用于氮化鋁材質的IC載板DPC工藝的使用。