一種單透鏡型自動檢測晶片基底二維形貌和溫度的裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201410692587.7 申請日 -
公開（公告）號 CN105698845B 公開（公告）日 2018-06-29
申請公布號 CN105698845B 申請公布日 2018-06-29
分類號 G01D21/02 分類 測量；測試;
發(fā)明人 劉健鵬;馬鐵中;焦宏達 申請（專利權）人 北京智朗芯光科技有限公司
代理機構 北京華沛德權律師事務所 代理人 劉杰
地址 102206 北京市昌平區(qū)昌平路97號新元科技園B座503室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種單透鏡型自動檢測晶片基底二維形貌和溫度的裝置，屬于半導體材料無損檢測技術領域。該單透鏡型自動檢測晶片基底二維形貌和溫度的裝置在光束入射至晶片基底之前，將透鏡設置于分光平片之后，而在形成第二種反射光束之后，將透鏡設置于分光平片之前，這樣，只需要應用一個透鏡即可，無需選用兩個透鏡，或者，在選用激光器和探測器時，無需它們自身集成有透鏡，使得檢測晶片基底二維形貌的裝置的成本降低。