一種MOCVD設備實時測溫系統(tǒng)自校準裝置及方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201310655598.3 申請日 -
公開（公告）號 CN104697639B 公開（公告）日 2018-12-07
申請公布號 CN104697639B 申請公布日 2018-12-07
分類號 G01J5/00 分類 測量；測試;
發(fā)明人 馬鐵中;嚴冬;王林梓;劉健鵬;焦宏達 申請（專利權）人 北京智朗芯光科技有限公司
代理機構 北京華沛德權律師事務所 代理人 劉杰
地址 100191 北京市昌平區(qū)昌平路97號新元科技園B座503室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種MOCVD設備實時測溫系統(tǒng)自校準裝置及方法，屬于半導體制造技術領域。該裝置包括MOCVD反應腔及光學探測器，MOCVD反應腔包括外延片，MOCVD反應腔的頂部設有探測窗口，光學探測器通過探測窗口向外延片發(fā)出波長分別為λ1和λ2的探測光束，光束外延片反射后形成的反射光束由光學探測部分探測。該方法根據(jù)實際熱輻射比值，在理論熱輻射比值?溫度曲線上描出與實際熱輻射比值對應的點；將點對應的溫度T的值代入公式，分別得到校準系數(shù)m1和m2。該方法及裝置實現(xiàn)了MOCVD設備實時測溫系統(tǒng)自校準，能夠保證外延片生長溫度測量一致而又精確。