一種MOCVD設(shè)備實時測溫系統(tǒng)自校準方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201310655576.7 申請日 -
公開（公告）號 CN104697638B 公開（公告）日 2018-12-25
申請公布號 CN104697638B 申請公布日 2018-12-25
分類號 G01J5/00;G01J5/08 分類 測量；測試;
發(fā)明人 嚴冬;馬鐵中;王林梓;劉健鵬;焦宏達 申請（專利權(quán)）人 北京智朗芯光科技有限公司
代理機構(gòu) 北京華沛德權(quán)律師事務(wù)所 代理人 劉杰
地址 102206 北京市昌平區(qū)昌平路97號新元科技園B座503室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種MOCVD設(shè)備實時測溫系統(tǒng)自校準方法，半導(dǎo)體制造技術(shù)領(lǐng)域。該方法包括根據(jù)實際熱輻射比值，在理論熱輻射比值?溫度曲線上描出與實際熱輻射比值對應(yīng)的點，將點對應(yīng)的溫度T的值代入計算公式，分別得到校準系數(shù)m1和m2。該方法能夠得到雙波長測溫結(jié)構(gòu)中第一種波長λ1和第二種波長λ2分別對應(yīng)的校準系數(shù)m1和m2，從而實現(xiàn)了MOCVD設(shè)備實時測溫系統(tǒng)自校準，能夠保證外延片生長溫度測量一致而又精確。