一種在線實(shí)時(shí)檢測外延片溫度的方法
基本信息
申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN201310651793.9 | 申請(qǐng)日 | - |
公開(公告)號(hào) | CN104697643B | 公開(公告)日 | 2018-06-26 |
申請(qǐng)公布號(hào) | CN104697643B | 申請(qǐng)公布日 | 2018-06-26 |
分類號(hào) | G01J5/06 | 分類 | 測量;測試; |
發(fā)明人 | 嚴(yán)冬;馬鐵中;王林梓;劉健鵬 | 申請(qǐng)(專利權(quán))人 | 北京智朗芯光科技有限公司 |
代理機(jī)構(gòu) | 北京華沛德權(quán)律師事務(wù)所 | 代理人 | 劉杰 |
地址 | 102206 北京市昌平區(qū)昌平路97號(hào)新元科技園B座503室 | ||
法律狀態(tài) | - |
摘要
摘要 | 本發(fā)明公開了一種在線實(shí)時(shí)檢測外延片溫度的方法,屬于半導(dǎo)體檢測技術(shù)領(lǐng)域。該方法通過引入鍍膜窗口的反射率衰減因子和熱輻射衰減因子,可以準(zhǔn)確測量得到外延片的溫度T。該方法能夠消除反應(yīng)腔窗口鍍膜對(duì)在線實(shí)時(shí)溫度檢測值造成的影響、提高在線實(shí)時(shí)溫度檢測值準(zhǔn)確度。 |
