一種五分割背散射電子探測器

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201821969904.5 申請日 -
公開（公告）號 CN209471067U 公開（公告）日 2019-10-08
申請公布號 CN209471067U 申請公布日 2019-10-08
分類號 G01N23/20008 分類 測量；測試;
發(fā)明人 皮曉宇 申請（專利權(quán)）人 上海歐波同儀器有限公司
代理機構(gòu) - 代理人 -
地址 100061 北京市東城區(qū)龍?zhí)堵繁?號526室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型公開了一種五分割背散射電子探測器，包括安裝殼體，所述安裝殼體的兩側(cè)外壁均開設(shè)有定位槽，且兩個定位槽相互遠離的一側(cè)外壁均焊接有伸縮彈簧，所述安裝殼體的頂部外壁設(shè)置有覆膜，且覆膜的底部兩側(cè)外壁均通過螺釘連接有固定板，所述固定板的一側(cè)外壁通過螺紋連接有定位螺紋桿，且兩個所述定位螺紋桿相互靠近的一側(cè)外壁與伸縮彈簧遠離安裝殼體的一側(cè)外壁滑動連接，所述覆膜的頂部外壁粘貼有等距離分布的硅片探測基板。本實用新型中，通過設(shè)置有五個硅片探測基板，能夠可以對具有不同角度的背散射電子進行成像，此結(jié)構(gòu)能夠保證背散射電子探測器的對稱性，且硅片探測基板之間間隙盡可能小，能夠有效利用覆膜空間，降低成本。