一種雙探針桌面臺(tái)式掃描電鏡

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201821973921.6 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN209183500U 公開（公告）日 2019-07-30
申請(qǐng)公布號(hào) CN209183500U 申請(qǐng)公布日 2019-07-30
分類號(hào) H01J37/28;H01J37/02;H01J37/20;G01N23/2251 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 皮曉宇 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 上海歐波同儀器有限公司
代理機(jī)構(gòu) - 代理人 -
地址 100061 北京市東城區(qū)龍?zhí)堵繁?號(hào)526室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型公開了一種雙探針桌面臺(tái)式掃描電鏡，包括底座盒，所述底座盒的頂部通過螺栓連接有主殼體，且主殼體的頂部通過螺栓連接有兩個(gè)電子光學(xué)鏡筒，所述主殼體的內(nèi)部通過螺栓連接有隔離板，且主殼體內(nèi)部通過隔離板分隔為兩個(gè)樣品室，兩個(gè)所述樣品室的兩側(cè)內(nèi)壁均通過螺栓連接有電動(dòng)導(dǎo)軌，且相鄰的兩個(gè)電動(dòng)導(dǎo)軌之間通過導(dǎo)塊連接有同一個(gè)載物臺(tái)。本實(shí)用新型中，本裝置中含有兩個(gè)電子光學(xué)鏡筒和樣品室，在使用時(shí)，可以利用本裝置同時(shí)對(duì)掃描樣品和比對(duì)樣品同時(shí)進(jìn)行掃描，或同時(shí)應(yīng)用于不同物質(zhì)的掃描，顯著的提高本裝置的應(yīng)用范圍，可以有效的避免掃描電鏡受到損壞，提高本裝置的使用壽命。