一種晶圓雙面宏觀觀測裝置及系統(tǒng)
基本信息
| 申請?zhí)?/td> | CN201920420088.0 | 申請日 | - |
| 公開（公告）號 | CN210322751U | 公開（公告）日 | 2020-04-14 |
| 申請公布號 | CN210322751U | 申請公布日 | 2020-04-14 |
| 分類號 | G01N21/01(2006.01)I | 分類 | 測量；測試; |
| 發(fā)明人 | 龔昱;詹翡紗;邱海洲 | 申請（專利權(quán)）人 | 上海新創(chuàng)達智能科技有限公司 |
| 代理機構(gòu) | 上海碩力知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） | 代理人 | 上海新創(chuàng)達智能科技有限公司 |
| 地址 | 201306上海市浦東新區(qū)南匯新城鎮(zhèn)環(huán)湖西二路888號2幢2區(qū)24144室 | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本實用新型公開了一種晶圓雙面宏觀觀測裝置及系統(tǒng)，涉及晶圓檢測技術(shù)領(lǐng)域。包括：基座，基座上設(shè)有第一支撐板和第二支撐板，第一支撐板與第二支撐板之間設(shè)有翻轉(zhuǎn)盤，翻轉(zhuǎn)盤通過連接軸連接于第一支撐板或第二支撐板上，翻轉(zhuǎn)盤沿連接軸的軸線方向轉(zhuǎn)動連接于第一支撐板與第二支撐板；翻轉(zhuǎn)盤上設(shè)有旋轉(zhuǎn)盤，旋轉(zhuǎn)盤沿其軸線方向轉(zhuǎn)動連接于翻轉(zhuǎn)盤，旋轉(zhuǎn)盤的軸線垂直于翻轉(zhuǎn)盤的軸線，翻轉(zhuǎn)盤上設(shè)有用于驅(qū)動旋轉(zhuǎn)盤轉(zhuǎn)動的旋轉(zhuǎn)機構(gòu)；旋轉(zhuǎn)盤上設(shè)有開合機構(gòu)，開合機構(gòu)內(nèi)設(shè)有用于將晶圓壓緊于旋轉(zhuǎn)盤的按壓板，按壓板沿旋轉(zhuǎn)盤的周向方向設(shè)置于旋轉(zhuǎn)盤上；翻轉(zhuǎn)盤上開設(shè)有第一觀察開口，旋轉(zhuǎn)盤上開設(shè)有第二觀察開口。增加了晶圓觀察時的可靠性。?? |
