一種晶圓雙面宏觀觀測(cè)裝置及系統(tǒng)

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201910252497.9 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN110082292A 公開（公告）日 2019-08-02
申請(qǐng)公布號(hào) CN110082292A 申請(qǐng)公布日 2019-08-02
分類號(hào) G01N21/01（2006.01）I; G01N21/13（2006.01）I; G01N21/84（2006.01）I 分類 測(cè)量；測(cè)試;
發(fā)明人 龔昱; 詹翡紗; 邱海洲 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 上海新創(chuàng)達(dá)智能科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 上海碩力知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 上海新創(chuàng)達(dá)智能科技有限公司
地址 201306 上海市浦東新區(qū)南匯新城鎮(zhèn)環(huán)湖西二路888號(hào)2幢2區(qū)24144室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種晶圓雙面宏觀觀測(cè)裝置及系統(tǒng)，涉及晶圓檢測(cè)技術(shù)領(lǐng)域。包括：基座，基座上設(shè)有第一支撐板和第二支撐板，第一支撐板與第二支撐板之間設(shè)有翻轉(zhuǎn)盤，翻轉(zhuǎn)盤通過連接軸連接于第一支撐板或第二支撐板上，翻轉(zhuǎn)盤沿連接軸的軸線方向轉(zhuǎn)動(dòng)連接于第一支撐板與第二支撐板；翻轉(zhuǎn)盤上設(shè)有旋轉(zhuǎn)盤，旋轉(zhuǎn)盤沿其軸線方向轉(zhuǎn)動(dòng)連接于翻轉(zhuǎn)盤，旋轉(zhuǎn)盤的軸線垂直于翻轉(zhuǎn)盤的軸線，翻轉(zhuǎn)盤上設(shè)有用于驅(qū)動(dòng)旋轉(zhuǎn)盤轉(zhuǎn)動(dòng)的旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)；旋轉(zhuǎn)盤上設(shè)有開合機(jī)構(gòu)，開合機(jī)構(gòu)內(nèi)設(shè)有用于將晶圓壓緊于旋轉(zhuǎn)盤的按壓板，按壓板沿旋轉(zhuǎn)盤的周向方向設(shè)置于旋轉(zhuǎn)盤上；翻轉(zhuǎn)盤上開設(shè)有第一觀察開口，旋轉(zhuǎn)盤上開設(shè)有第二觀察開口。減小了晶圓損壞的可能，增加了晶圓觀察時(shí)的可靠性。