一種感光性樹(shù)脂組合物及其應(yīng)用

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201910805266.6 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN110515271B 公開(kāi)（公告）日 2022-03-11
申請(qǐng)公布號(hào) CN110515271B 申請(qǐng)公布日 2022-03-11
分類號(hào) G03F7/027（2006.01）I 分類 攝影術(shù)；電影術(shù)；利用了光波以外其他波的類似技術(shù)；電記錄術(shù)；全息攝影術(shù)〔4〕;
發(fā)明人 朱高華;李偉杰;周光大 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 杭州福斯特電子材料有限公司
代理機(jī)構(gòu) 浙江千克知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 裴金華
地址 310000 浙江省杭州市臨安區(qū)錦北街道福斯特街8號(hào)1幢212
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開(kāi)了一種感光性樹(shù)脂組合物及其應(yīng)用。本發(fā)明的樹(shù)脂組合物包括40?70重量份的堿可溶性樹(shù)脂、20?50重量份的光聚合單體、0.5?10.0重量份光引發(fā)劑和0.1?10.0重量份添加劑；所述光聚合單體包括0.5?15.0重量份的含有碳酸酯結(jié)構(gòu)的單體。該感光性樹(shù)脂組合物用作干膜抗蝕劑，具有退膜易斷裂、退膜碎片較小、退膜速度快等特性，同時(shí)線路分辨率、附著力良好，從而有效地提高生產(chǎn)效率和產(chǎn)品良率。