一種單片清洗的單晶硅片清洗裝置
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN201621335852.7 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開(kāi)（公告）號(hào) | CN206296236U | 公開(kāi)（公告）日 | 2017-07-04 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN206296236U | 申請(qǐng)公布日 | 2017-07-04 |
| 分類號(hào) | B08B3/02;B08B11/00 | 分類 | 清潔; |
| 發(fā)明人 | 俞豪威;梁庭衛(wèi) | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 | 安徽愛(ài)森能源有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 六安眾信知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） | 代理人 | 熊偉 |
| 地址 | 237200 安徽省六安市霍山經(jīng)濟(jì)開(kāi)發(fā)區(qū) | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本實(shí)用新型公開(kāi)了一種單片清洗的單晶硅片清洗裝置，包括水槽、清洗架、擋片、水噴頭，所述水槽上方設(shè)有清洗架，所述清洗架為長(zhǎng)條盒形，其底部開(kāi)設(shè)有若干通孔，在清洗架兩內(nèi)側(cè)壁對(duì)應(yīng)均勻設(shè)有若干擋片，所述清洗架頂部滑動(dòng)連接水噴頭；所述水噴頭為方形，其頂部連接水管。本實(shí)用新型作為一種單晶硅片的清洗裝置，具有避免單晶硅片重疊，且清洗質(zhì)量高的優(yōu)點(diǎn)。 |
