一種多晶硅片控溫清洗裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201621335833.4 申請日 -
公開（公告）號 CN206296255U 公開（公告）日 2017-07-04
申請公布號 CN206296255U 申請公布日 2017-07-04
分類號 B08B3/08;B08B3/10 分類 清潔;
發(fā)明人 俞豪威;梁庭衛(wèi) 申請（專利權(quán)）人 安徽愛森能源有限公司
代理機構(gòu) 六安眾信知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 熊偉
地址 237200 安徽省六安市霍山經(jīng)濟(jì)開發(fā)區(qū)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型公開了一種多晶硅片控溫清洗裝置，包括堿洗槽，其特征在于：還包括加熱水箱、水泵、抽水管、加水管，所述堿洗槽側(cè)壁底部相通連接加水管，所述加水管相通連接加熱水箱底部，在加熱水箱頂部通過水管連接水泵出水端，所述水泵抽水端連接抽水管，所述抽水管另一端設(shè)在堿洗槽水面下方。本實用新型作為多晶硅片的清洗裝置，具有溫度穩(wěn)定，持續(xù)工作的優(yōu)點。