一種持續(xù)穩(wěn)定的單晶硅片清洗裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201621335851.2 申請日 -
公開（公告）號 CN206301763U 公開（公告）日 2017-07-04
申請公布號 CN206301763U 申請公布日 2017-07-04
分類號 H01L21/67 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 俞豪威;梁庭衛(wèi) 申請（專利權(quán)）人 安徽愛森能源有限公司
代理機構(gòu) 六安眾信知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 熊偉
地址 237200 安徽省六安市霍山經(jīng)濟開發(fā)區(qū)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型公開了一種持續(xù)穩(wěn)定的單晶硅片清洗裝置，包括第一水槽、第二水槽、第三水槽、第四水槽、第五水槽、第六水槽、第七水槽、第八水槽，在每個水槽內(nèi)設(shè)有加熱器，每個加熱器與加熱器溫控板單獨連接，所述第三水槽和第四水槽內(nèi)部均設(shè)有水冷塊，在第三水槽和第四水槽外側(cè)均設(shè)有散熱片、水箱、液體輸送泵，且所述水冷塊和散熱片、水箱、液體輸送泵依次通過液體輸送管順序相通連接。本實用新型作為一種單晶硅片清洗裝置，具有穩(wěn)定、持續(xù)清洗的優(yōu)點。