一種基于機(jī)器視覺的芯片晶粒檢測(cè)方法
基本信息
申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN202010501740.9 | 申請(qǐng)日 | - |
公開(公告)號(hào) | CN111665261A | 公開(公告)日 | 2020-09-15 |
申請(qǐng)公布號(hào) | CN111665261A | 申請(qǐng)公布日 | 2020-09-15 |
分類號(hào) | G01N21/95(2006.01)I | 分類 | 測(cè)量;測(cè)試; |
發(fā)明人 | 凌飛;陶進(jìn) | 申請(qǐng)(專利權(quán))人 | 安徽安視智能科技有限公司 |
代理機(jī)構(gòu) | 合肥律眾知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 | 代理人 | 趙娟 |
地址 | 231100安徽省合肥市長(zhǎng)豐縣崗集鎮(zhèn)工業(yè)拓展區(qū)崗淮路5號(hào) | ||
法律狀態(tài) | - |
摘要
摘要 | 本發(fā)明涉及芯片晶粒檢測(cè),具體涉及一種基于機(jī)器視覺的芯片晶粒檢測(cè)方法,使鑲在柔性膜上所有晶粒的正面處于同一水平面上,并對(duì)晶粒面進(jìn)行圖像采集,將采集到的圖片轉(zhuǎn)化為黑白圖片,并計(jì)算各晶粒的角點(diǎn)坐標(biāo),將每個(gè)晶粒的角點(diǎn)及其內(nèi)部變換成指定尺寸的標(biāo)準(zhǔn)圖片,并對(duì)標(biāo)準(zhǔn)圖片進(jìn)行均一化,將均一化圖片與標(biāo)準(zhǔn)樣本圖片相減,計(jì)算所有絕對(duì)值超過設(shè)定閾值的像素?cái)?shù)目,若像素?cái)?shù)目達(dá)到不合格比例時(shí),則判斷該晶粒外觀不合格,否則判斷該晶粒外觀合格;本發(fā)明提供的技術(shù)方案能夠有效克服現(xiàn)有技術(shù)所存在的對(duì)鑲在柔性膜上的晶粒進(jìn)行外觀檢測(cè)效率較低、不夠準(zhǔn)確的缺陷。?? |
