半導(dǎo)體工藝設(shè)備及其質(zhì)量流量控制器、流體流量控制方法
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN202111319334.1 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開(kāi)（公告）號(hào) | CN113900455A | 公開(kāi)（公告）日 | 2022-01-07 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN113900455A | 申請(qǐng)公布日 | 2022-01-07 |
| 分類(lèi)號(hào) | G05D7/06（2006.01）I | 分類(lèi) | 控制；調(diào)節(jié); |
| 發(fā)明人 | 車(chē)艷霞;鄒義濤 | 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人 | 北京七星華創(chuàng)流量計(jì)有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 北京天昊聯(lián)合知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 | 代理人 | 彭瑞欣;王婷 |
| 地址 | 100176北京市北京經(jīng)濟(jì)技術(shù)開(kāi)發(fā)區(qū)文昌大道8號(hào)1幢506室 | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本發(fā)明提供一種流體流量控制方法，包括：確定目標(biāo)流量所在的流量區(qū)間；在流量差值小于預(yù)設(shè)流量差值時(shí)，根據(jù)流量差值確定目標(biāo)流量對(duì)應(yīng)的控制參數(shù)，并基于確定的控制參數(shù)控制流體流量；其中，確定的控制參數(shù)隨著流量差值增大，由前一個(gè)流量區(qū)間對(duì)應(yīng)的預(yù)設(shè)控制參數(shù)至目標(biāo)流量所在的流量區(qū)間對(duì)應(yīng)的預(yù)設(shè)控制參數(shù)連續(xù)單調(diào)變化。在本發(fā)明中，質(zhì)量流量控制器能夠在目標(biāo)流量靠近流量區(qū)間的邊界值時(shí)，根據(jù)流量差值確定目標(biāo)流量對(duì)應(yīng)的控制參數(shù)，且確定的控制參數(shù)隨著流量差值增大而在前后兩預(yù)設(shè)控制參數(shù)之間連續(xù)單調(diào)變化，從而避免控制參數(shù)發(fā)生突變，消除流量超調(diào)風(fēng)險(xiǎn)，有助于更加精確地控制氣體流量。本發(fā)明還提供一種質(zhì)量流量控制器和半導(dǎo)體工藝設(shè)備。 |
