腔室壓力控制方法及裝置、半導(dǎo)體設(shè)備

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201910314577.2 申請日 -
公開（公告）號 CN111831022B 公開（公告）日 2022-03-18
申請公布號 CN111831022B 申請公布日 2022-03-18
分類號 G05D16/20（2006.01）I;C23C14/54（2006.01）I;C23C16/52（2006.01）I 分類 控制；調(diào)節(jié);
發(fā)明人 鄭文寧;趙迪;陳正堂 申請（專利權(quán)）人 北京七星華創(chuàng)流量計有限公司
代理機構(gòu) 北京天昊聯(lián)合知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 彭瑞欣;張?zhí)焓?/td>
地址 100176北京市北京經(jīng)濟技術(shù)開發(fā)區(qū)文昌大道8號1幢506室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明提供一種腔室壓力控制方法及裝置、半導(dǎo)體設(shè)備，該方法包括以下步驟：S1，檢測腔室內(nèi)部的實際壓力值；S2，計算實際壓力值與預(yù)設(shè)的目標(biāo)壓力值的差值；判斷差值是否超出預(yù)設(shè)范圍，若超出，則進行步驟S3；若未超出，則流程結(jié)束；S3，獲取控制系數(shù)，該控制系數(shù)為曲率與預(yù)設(shè)的PID系數(shù)的乘積，該曲率為與當(dāng)前的氣體流量值對應(yīng)的關(guān)于壓力和位置參數(shù)的曲線中，與執(zhí)行單元的當(dāng)前的位置參數(shù)值相對應(yīng)的曲率；S4，基于差值和控制系數(shù)計算獲得執(zhí)行單元的位置參數(shù)調(diào)整量，向該執(zhí)行單元輸出，返回步驟S2。本發(fā)明提供的腔室壓力控制方法及裝置、半導(dǎo)體設(shè)備的技術(shù)方案，可以精確快速的控制腔室內(nèi)壓力，使之穩(wěn)定在預(yù)設(shè)范圍內(nèi)，從而可以提高工藝質(zhì)量和成品率。