半導(dǎo)體工藝設(shè)備及其集成供氣系統(tǒng)
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN202121493353.1 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開(kāi)（公告）號(hào) | CN215451345U | 公開(kāi)（公告）日 | 2022-01-07 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN215451345U | 申請(qǐng)公布日 | 2022-01-07 |
| 分類(lèi)號(hào) | H01L21/67（2006.01）I | 分類(lèi) | 基本電氣元件; |
| 發(fā)明人 | 馬培原;宋志輝;楊宗林 | 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人 | 北京七星華創(chuàng)流量計(jì)有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 北京天昊聯(lián)合知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 | 代理人 | 彭瑞欣;王婷 |
| 地址 | 100176北京市北京經(jīng)濟(jì)技術(shù)開(kāi)發(fā)區(qū)文昌大道8號(hào)1幢506室 | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本申請(qǐng)實(shí)施例提供了一種半導(dǎo)體工藝設(shè)備及其集成供氣系統(tǒng)。該集成供氣系統(tǒng)包括：底板、氣路輸送組件、樞轉(zhuǎn)組件及鎖緊組件；底板豎直設(shè)置于半導(dǎo)體工藝設(shè)備的柜體內(nèi)；氣路輸送組件的頂端通過(guò)樞轉(zhuǎn)組件與底板樞轉(zhuǎn)連接，氣路輸送組件能相對(duì)于樞轉(zhuǎn)組件旋轉(zhuǎn)，以使氣路輸送組件在第一位置及第二位置之間切換；鎖緊組件設(shè)置于氣路輸送組件朝向底板的一側(cè)，用于當(dāng)氣路輸送組件位于第一位置時(shí)，將氣路輸送組件的底端與底板鎖緊，并且還用于將氣路輸送組件的底端與底板釋放，以使氣路輸送組件能切換至第二位置。本申請(qǐng)實(shí)施例為調(diào)試及維護(hù)提供了空間，從而可以大幅提高調(diào)試及維護(hù)效率。另外氣路輸送組件位于第二位置還有利于對(duì)氣路輸送組件上的儀表讀取示數(shù)。 |
