芯片封裝材料表面清潔裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201711413510.1 申請日 -
公開（公告）號 CN108155123B 公開（公告）日 2022-03-08
申請公布號 CN108155123B 申請公布日 2022-03-08
分類號 H01L21/67（2006.01）I;B08B3/02（2006.01）I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 樊超 申請（專利權(quán)）人 蘇州賽源微電子有限公司
代理機構(gòu) 北京遠大卓悅知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 韓飛
地址 215011江蘇省蘇州市蘇州高新區(qū)塔園路136號1幢339室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種芯片封裝材料表面清潔裝置，其包括吸塵風機、吹掃風機、設置多個獨立存放腔的凈化箱；吸塵風機進口連接多個除塵管；吹掃風機左側(cè)出口連接有出風管；出風管連接有多個進風管；進風管左端開口及除塵管的右端開口均分別與存放腔中被隔離板分割成獨立腔體相對應，凈化箱的中部穿設樞轉(zhuǎn)軸，樞轉(zhuǎn)軸連接電機，電機帶動所述凈化箱圍繞所述樞轉(zhuǎn)軸轉(zhuǎn)動。本發(fā)明能夠?qū)Ψ庋b材料進行有效地表面清潔，且凈化箱在清潔處理的同時可不斷轉(zhuǎn)動，避免封裝材料疊置造成的清潔不充分，因而具有較佳的清潔效果。