一種紫外皮秒激光加工裝置
基本信息
| 申請?zhí)?/td> | CN202020372555.X | 申請日 | - |
| 公開（公告）號 | CN211991452U | 公開（公告）日 | 2020-11-24 |
| 申請公布號 | CN211991452U | 申請公布日 | 2020-11-24 |
| 分類號 | B23K26/402(2014.01)I | 分類 | 機床；不包含在其他類目中的金屬加工; |
| 發(fā)明人 | 趙全忠;張學聰;付強 | 申請（專利權(quán)）人 | 南京萃智激光應(yīng)用技術(shù)研究院有限公司 |
| 代理機構(gòu) | 南京華恒專利代理事務(wù)所（普通合伙） | 代理人 | 南京萃智激光應(yīng)用技術(shù)研究院有限公司 |
| 地址 | 210038江蘇省南京市棲霞區(qū)恒園路1號龍港科技園A棟601 | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本實用新型提供一種紫外皮秒激光加工裝置，包括紫外皮秒激光器、可調(diào)平夾具、X?Y移動平臺以及依次布置在所述紫外皮秒激光器的輸出光路上的第一反射鏡、偏振器、第二反射鏡、擴束鏡、平頂光束整形器、第三反射鏡、第四反射鏡、合束鏡、CCD鏡頭、孔徑光闌和掃描振鏡模組；所述可調(diào)平夾具包括底板、安裝于底板上的縱截面為倒T形的支撐塊以及安裝于所述支撐塊上的壓緊塊，所述底板固定安裝于X?Y移動平臺上。本實用新型公開將掃描振鏡模組和X?Y移動平臺相結(jié)合，突破了掃描振鏡幅面限制，實現(xiàn)分割加工，拓展了材料的加工尺寸。掃描振鏡的應(yīng)用還可以實現(xiàn)超快的激光掃描速度和復(fù)雜的掃描路徑，大大提高激光加工速度和加工柔性。?? |
