一種利用飛秒激光制備納米帶的方法
基本信息
| 申請?zhí)?/td> | CN202010547908.X | 申請日 | - |
| 公開（公告）號 | CN111673271A | 公開（公告）日 | 2020-09-18 |
| 申請公布號 | CN111673271A | 申請公布日 | 2020-09-18 |
| 分類號 | B23K26/06(2014.01)I | 分類 | - |
| 發(fā)明人 | 趙全忠 | 申請（專利權(quán)）人 | 南京萃智激光應(yīng)用技術(shù)研究院有限公司 |
| 代理機構(gòu) | 南京華恒專利代理事務(wù)所（普通合伙） | 代理人 | 南京萃智激光應(yīng)用技術(shù)研究院有限公司 |
| 地址 | 210038江蘇省南京市棲霞區(qū)恒園路1號龍港科技園A棟601 | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本發(fā)明公開一種利用飛秒激光制備納米帶的方法，包括以下幾個步驟：第一步，在基底上沉積一層待加工薄膜；第二步，將沉積有所述薄膜的基底放置在可移動的工作臺上；第三步，將單束飛秒激光的能量調(diào)節(jié)到至所述薄膜材料的燒蝕閾值；第四步，將飛秒激光經(jīng)物鏡聚焦到所述薄膜表面，移動工作臺，使飛秒激光根據(jù)預(yù)設(shè)參數(shù)掃描所述薄膜表面，使掃描的區(qū)域燒蝕掉，而未掃描的區(qū)域剝離而形成納米帶。本發(fā)明所提供的納米帶制備方法，克服了傳統(tǒng)方法制備納米帶形狀單一的不足，利用飛秒激光靈活的三維加工特性，通過飛秒激光的冷加工特征對薄膜進行燒蝕，可以制備出根據(jù)程序預(yù)先設(shè)定任意形狀的納米帶。?? |
