一種銅銦鎵硒太陽(yáng)能電池光吸收層薄膜的制備方法

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201510531219.9 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN105206707B 公開(kāi)（公告）日 2017-03-29
申請(qǐng)公布號(hào) CN105206707B 申請(qǐng)公布日 2017-03-29
分類號(hào) H01L31/18(2006.01)I;H01L31/032(2006.01)I;C23C14/35(2006.01)I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 吳富章 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 廈門神科太陽(yáng)能有限公司
代理機(jī)構(gòu) 廈門市首創(chuàng)君合專利事務(wù)所有限公司 代理人 張松亭;姜謐
地址 361000 福建省廈門市火炬高新區(qū)創(chuàng)業(yè)園偉業(yè)樓南樓S102A室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開(kāi)了一種銅銦鎵硒太陽(yáng)能電池光吸收層薄膜的制備方法，包括如下步驟：(1)將已經(jīng)沉積好金屬背電極和前驅(qū)金屬合金層的銅銦鎵基板以40～60°的角度放置在真空腔的工作盤上，用電子束蒸發(fā)法在其上制備第一硒膜；(2)將步驟(1)制得的具有硒膜的銅銦鎵基板加熱至100～300℃，同時(shí)通入惰性氣體，并保持恒定壓力；(3)繼續(xù)加熱至300～600℃，保持恒定壓力，同時(shí)用電子束蒸發(fā)法和離子源輔助硒化法在第一硒膜上制備第二硒膜；(4)將溫度降低到200℃，排出真空腔內(nèi)的氣體，即得產(chǎn)品。本發(fā)明的方法在蒸發(fā)過(guò)程中精確控制硒薄膜的厚度、基板的溫度、基板的放置角度、工件盤的轉(zhuǎn)速、氣體壓力，從而達(dá)到硒薄膜在基板上分布均勻，變化梯度小。