一種薄膜材料塞貝克系數(shù)測(cè)量?jī)x

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201310131502.3 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN104111267A 公開(kāi)（公告）日 2014-10-22
申請(qǐng)公布號(hào) CN104111267A 申請(qǐng)公布日 2014-10-22
分類號(hào) G01N25/20(2006.01)I 分類 測(cè)量；測(cè)試;
發(fā)明人 王軒;王濤;刁訓(xùn)剛 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 北京市太陽(yáng)能研究所有限公司
代理機(jī)構(gòu) - 代理人 -
地址 100012 北京市朝陽(yáng)區(qū)北苑路大羊坊10號(hào)桑普大廈
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明涉及熱電性能測(cè)試領(lǐng)域的一種測(cè)量?jī)x，特別涉及一種薄膜材料塞貝克系數(shù)測(cè)量?jī)x。該測(cè)量?jī)x包括樣品臺(tái)、溫度控制系統(tǒng)和數(shù)據(jù)采集系統(tǒng)。樣品臺(tái)包括樣品夾和底座，樣品夾為兩部分，用來(lái)固定測(cè)試樣品，分別稱為熱端和冷端；溫度控制系統(tǒng)包括傳感器、溫控器、繼電器、加熱器和冷卻器，傳感器、加熱器和冷卻器均設(shè)置在樣品夾上，數(shù)據(jù)采集系統(tǒng)包括金電極和數(shù)據(jù)采集卡。本發(fā)明提供的塞貝克系數(shù)測(cè)量?jī)x可以測(cè)量厚度大于20nm薄膜的塞貝克系數(shù)，同時(shí)也能夠測(cè)量厚度小于10mm塊體的塞貝克系數(shù)，并且可以以每秒10000次的速度進(jìn)行連續(xù)動(dòng)態(tài)測(cè)量，大大增加了數(shù)據(jù)可靠性和測(cè)試效率。