一種表面缺陷檢測(cè)裝置

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201921862649.9 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN211292539U 公開（公告）日 2020-08-18
申請(qǐng)公布號(hào) CN211292539U 申請(qǐng)公布日 2020-08-18
分類號(hào) G01N21/01(2006.01)I;G01N21/95(2006.01)I 分類 -
發(fā)明人 何軍舫 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 北京博宇半導(dǎo)體工藝器皿技術(shù)有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京中政聯(lián)科專利代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 北京博宇半導(dǎo)體工藝器皿技術(shù)有限公司;博宇（天津）半導(dǎo)體材料有限公司;博宇（朝陽）半導(dǎo)體科技有限公司
地址 101101北京市通州區(qū)工業(yè)開發(fā)區(qū)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 一種表面缺陷檢測(cè)裝置，包括：遮光罩，側(cè)面設(shè)置有觀察口；照明裝置，設(shè)置于遮光罩內(nèi)部，照明裝置靠近遮光罩的頂部，以使照明裝置由上至下照射。采用這種表面缺陷檢測(cè)裝置遮光罩，照明設(shè)備發(fā)射的光線能夠沿檢測(cè)物表面平行方向射入，更容易發(fā)現(xiàn)檢測(cè)物表面的缺陷。