一種蒸鍍用加熱裝置

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201921257970.4 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)(公告)號(hào) CN211720759U 公開(kāi)(公告)日 2020-10-20
申請(qǐng)公布號(hào) CN211720759U 申請(qǐng)公布日 2020-10-20
分類(lèi)號(hào) H05B3/20(2006.01)I 分類(lèi) 其他類(lèi)目不包含的電技術(shù);
發(fā)明人 何軍舫 申請(qǐng)(專(zhuān)利權(quán))人 北京博宇半導(dǎo)體工藝器皿技術(shù)有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京中政聯(lián)科專(zhuān)利代理事務(wù)所(普通合伙) 代理人 北京博宇半導(dǎo)體工藝器皿技術(shù)有限公司;博宇(朝陽(yáng))半導(dǎo)體科技有限公司;博宇(天津)半導(dǎo)體材料有限公司
地址 101101北京市通州區(qū)工業(yè)開(kāi)發(fā)區(qū)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型提供一種蒸鍍用加熱裝置,包括基板,以及設(shè)置于基板表面的導(dǎo)電層,其特征在于,基板具有相對(duì)的第一表面和第二表面;導(dǎo)電層包括第一導(dǎo)電層和第二導(dǎo)電層;第一導(dǎo)電層設(shè)置于基板的第一表面;第二導(dǎo)電層設(shè)置于基板的第二表面;第一導(dǎo)電層和第二導(dǎo)電層上設(shè)置有加熱區(qū)和隔離區(qū);第一導(dǎo)電層上的加熱區(qū)與第二導(dǎo)電層上的隔離區(qū)相對(duì)應(yīng)。采用這種蒸鍍用加熱裝置,能夠保證加熱面溫度的均勻性。??