一種加熱器導(dǎo)電紋路制備模具

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201921507222.7 申請日 -
公開（公告）號 CN210928016U 公開（公告）日 2020-07-03
申請公布號 CN210928016U 申請公布日 2020-07-03
分類號 H05B3/20 分類 -
發(fā)明人 何軍舫 申請（專利權(quán)）人 北京博宇半導(dǎo)體工藝器皿技術(shù)有限公司
代理機構(gòu) 北京中政聯(lián)科專利代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 博宇（天津）半導(dǎo)體材料有限公司;博宇（朝陽）半導(dǎo)體科技有限公司;北京博宇半導(dǎo)體工藝器皿技術(shù)有限公司
地址 101101 北京市通州區(qū)工業(yè)開發(fā)區(qū)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 一種加熱器導(dǎo)電紋路制備模具，該模具包括第一模具單體(1)和第二模具單體(2)；所述第一模具單體(1)與所述第二模具單體(2)可拆卸連接；所述第一模具單體(1)和第二模具單體(2)圍成有閉合的容納空間，所述容納空間用于容納加熱器；所述第一模具單體(1)和所述第二模具單體(2)的表面均設(shè)置有通孔(3)；所述通孔(3)與加熱器的導(dǎo)電隔離區(qū)對應(yīng)設(shè)置，用于對通孔裸露出的導(dǎo)電涂層進(jìn)行噴砂雕刻。通過設(shè)計該加熱器導(dǎo)電紋路制備模具，能夠?qū)崿F(xiàn)在涂層上進(jìn)行噴砂雕刻，能夠得到較為精確的導(dǎo)電隔離區(qū)，能夠有效避免由于機械加工加熱器導(dǎo)致的分層現(xiàn)象。