一種數(shù)字式差動型微加速度計

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201610944688.8 申請日 -
公開（公告）號 CN106352862B 公開（公告）日 2019-04-09
申請公布號 CN106352862B 申請公布日 2019-04-09
分類號 G01C19/5621（2012.01）I 分類 測量；測試;
發(fā)明人 趙玉龍; 李波; 李村; 孫登強; 趙建華 申請（專利權(quán)）人 陜西麟德慣性電氣有限公司
代理機構(gòu) 西安智大知識產(chǎn)權(quán)代理事務所 代理人 賀建斌
地址 710049 陜西省西安市碑林區(qū)咸寧西路28號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 一種數(shù)字式差動型微加速度計芯片，包括具有質(zhì)量塊?彈簧功能的硅基底和兩根石英雙端固定音叉，硅基底由質(zhì)量塊和支撐質(zhì)量塊的兩根懸臂梁組成，質(zhì)量塊、懸臂梁組成質(zhì)量塊?彈簧系統(tǒng)指的是沿著微加速度計芯片敏感方向，懸臂梁具有彈性特性，懸臂梁沿著質(zhì)量塊的對角線方向；石英雙端固定音叉沿著質(zhì)量塊的另外一條對角線方向，兩個結(jié)構(gòu)相同的石英雙端固定音叉處于差動方式布置，本發(fā)明能夠消除溫度對傳感器的影響，提高傳感器的非線性度，具有響應速度快、精度高等優(yōu)點。