一種多級臺階高過載諧振式加速度計芯片

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201710613620.6 申請日 -
公開（公告）號 CN107328954B 公開（公告）日 2019-12-31
申請公布號 CN107328954B 申請公布日 2019-12-31
分類號 G01P15/097 分類 測量；測試;
發(fā)明人 趙玉龍;韓超;李村;李波;張琪;趙友 申請（專利權(quán)）人 陜西麟德慣性電氣有限公司
代理機構(gòu) 西安智大知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所 代理人 西安交通大學(xué)
地址 710049 陜西省西安市碑林區(qū)咸寧西路28號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 一種多級臺階高過載諧振式加速度計芯片，由硅基底和石英音叉梁組成，硅基底由外圍的支撐框架和內(nèi)部的敏感質(zhì)量塊組成，支撐框架和敏感質(zhì)量塊上分別帶有過載止擋結(jié)構(gòu)，并通過柔性支撐梁連接為一個整體，硅基底上的敏感質(zhì)量塊上開有供石英音叉梁安裝和運動的安裝對準標(biāo)記和空槽，且均對稱分布于非敏感方向軸線兩側(cè)，與被測加速度方向垂直；通過兩石英音叉梁頻率變化的差值確定加速度大?。划?dāng)芯片受到過載沖擊加速度時，敏感質(zhì)量塊上的過載止擋結(jié)構(gòu)與支撐框架上的過載止擋結(jié)構(gòu)發(fā)生硬接觸，阻止石英音叉梁和柔性支撐梁進一步變形造成的破壞；本發(fā)明能減少惡劣環(huán)境對傳感器的影響和破壞，擴大應(yīng)用范圍，并且具有準數(shù)字輸出，精度高，體積小等優(yōu)點。