一種OLED加工用均勻蒸鍍沉積設(shè)備

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202121005067.6 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN214830623U 公開(kāi)（公告）日 2021-11-23
申請(qǐng)公布號(hào) CN214830623U 申請(qǐng)公布日 2021-11-23
分類號(hào) C23C14/24（2006.01）I;C23C14/56（2006.01）I;H01L51/56（2006.01）I;B08B9/087（2006.01）I 分類 對(duì)金屬材料的鍍覆；用金屬材料對(duì)材料的鍍覆；表面化學(xué)處理；金屬材料的擴(kuò)散處理；真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學(xué)氣相沉積法的一般鍍覆；金屬材料腐蝕或積垢的一般抑制〔2〕;
發(fā)明人 陳景升;張正才;王峰 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 江蘇微邁思半導(dǎo)體科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 蘇州國(guó)卓知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 周鑫
地址 221000江蘇省常州市經(jīng)濟(jì)技術(shù)開(kāi)發(fā)區(qū)徐莊鎮(zhèn)府中路66號(hào)徐莊之星眾創(chuàng)空間303房間
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型屬于OLED加工沉積設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域，尤其為一種OLED加工用均勻蒸鍍沉積設(shè)備，包括主板和固定桿，所述主板的內(nèi)壁安裝有支撐板，且支撐板的內(nèi)部設(shè)置有滑桿，并且滑桿的下方安裝有滑塊，所述滑塊的外壁設(shè)置有清理板，且清理板外部設(shè)置有固定板，并且固定板的上方安裝有軸承，所述軸承的外壁安裝有轉(zhuǎn)桿，且轉(zhuǎn)桿的外部設(shè)置有蒸發(fā)管。該OLED加工用均勻蒸鍍沉積設(shè)備，與現(xiàn)有的OLED加工沉積設(shè)備相比，有利于設(shè)備的內(nèi)部保持干凈，方便對(duì)設(shè)備內(nèi)部進(jìn)行清洗，使灰塵不易進(jìn)入到設(shè)備中來(lái)，從而不會(huì)影響到設(shè)備的正常使用，使轉(zhuǎn)桿通過(guò)固定板內(nèi)的軸承進(jìn)行轉(zhuǎn)動(dòng)，帶動(dòng)蒸發(fā)管進(jìn)行進(jìn)行轉(zhuǎn)動(dòng)，使設(shè)備進(jìn)行均勻蒸鍍沉積，有利于對(duì)蒸發(fā)的沉積物進(jìn)行收集。