芯片表面清潔模組

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201920946368.5 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN210187788U 公開（公告）日 2020-03-27
申請(qǐng)公布號(hào) CN210187788U 申請(qǐng)公布日 2020-03-27
分類號(hào) B08B1/00;B08B13/00 分類 清潔;
發(fā)明人 馮文燦;張華 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 東莞廣達(dá)智能科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 深圳華奇信諾專利代理事務(wù)所（特殊普通合伙） 代理人 東莞廣達(dá)智能科技有限公司
地址 523000 廣東省東莞市松山湖園區(qū)科技二路10號(hào)1棟1單元305室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型涉及自動(dòng)化清潔設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域，尤其是指一種芯片表面清潔模組，所述機(jī)架固定有安裝板、連接安裝板的安裝底座和裝設(shè)于安裝板驅(qū)動(dòng)安裝底座靠近或遠(yuǎn)離清潔機(jī)械手的第二驅(qū)動(dòng)裝置，該安裝底座裝設(shè)有潔具安裝臺(tái)、環(huán)形布設(shè)于潔具安裝臺(tái)的若干個(gè)卡接槽和驅(qū)動(dòng)潔具安裝臺(tái)轉(zhuǎn)動(dòng)的第三驅(qū)動(dòng)裝置，所述機(jī)架裝設(shè)有位于清潔機(jī)械手上方的視覺檢測(cè)裝置，所述第一驅(qū)動(dòng)裝置和清潔機(jī)械手均裝設(shè)于安裝板，本套模組自動(dòng)化程度高，可實(shí)時(shí)檢測(cè)需清潔產(chǎn)品表面與清潔機(jī)械手的距離，實(shí)現(xiàn)靈活、高效高質(zhì)量的清潔效果。