芯片表面清潔檢測機構(gòu)

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201920946376.X 申請日 -
公開（公告）號 CN210198989U 公開（公告）日 2020-03-27
申請公布號 CN210198989U 申請公布日 2020-03-27
分類號 G01N21/94;B08B1/00 分類 測量；測試;
發(fā)明人 馮文燦;張華 申請（專利權(quán)）人 東莞廣達智能科技有限公司
代理機構(gòu) 深圳華奇信諾專利代理事務(wù)所（特殊普通合伙） 代理人 東莞廣達智能科技有限公司
地址 523000 廣東省東莞市松山湖園區(qū)科技二路10號1棟1單元305室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型涉及自動化清潔檢測設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域，尤其是指一種芯片表面清潔檢測機構(gòu)，所述清潔模組包括清潔機械手、驅(qū)動清潔機械手上下運動的第一驅(qū)動裝置、安裝底座、裝設(shè)于安裝底座的潔具安裝臺和驅(qū)動安裝底座靠近或遠離清潔機械手的第二驅(qū)動裝置，所述機架固定連接有承載板、第一視覺檢測裝置和第二視覺檢測裝置，其中承載板位于清潔機械手的上方，第一視覺檢測裝置穿接承載板向下延伸，第二視覺檢測裝置連接第一視覺檢測裝置的末端，所述承載板上側(cè)面裝設(shè)有第三視覺檢測裝置以及環(huán)形布設(shè)于承載板的若干個光照組件，本機構(gòu)自動化程度高，實時檢測產(chǎn)品清潔情況，且具有智能控制清潔機械手向下移動的距離，達到靈活、高精度高質(zhì)量的清潔效果。