一種半導(dǎo)體加工模具的檢測(cè)裝置
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN202021480827.4 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開（公告）號(hào) | CN212721948U | 公開（公告）日 | 2021-03-16 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN212721948U | 申請(qǐng)公布日 | 2021-03-16 |
| 分類號(hào) | G01M3/26(2006.01)I;G01M3/04(2006.01)I | 分類 | 測(cè)量；測(cè)試; |
| 發(fā)明人 | 楊狄 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 | 成都芯翼科技有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 成都頂峰專利事務(wù)所（普通合伙） | 代理人 | 別亞琴 |
| 地址 | 610000四川省成都市金牛區(qū)金府路88號(hào)1棟1單元10層1036號(hào) | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本實(shí)用新型公開了一種半導(dǎo)體加工模具的檢測(cè)裝置，包括檢測(cè)臺(tái)和兩個(gè)支撐板，兩個(gè)所述支撐板對(duì)稱設(shè)置在檢測(cè)臺(tái)上側(cè)壁兩端，兩個(gè)所述支撐板上側(cè)壁共同固定連接有頂板，所述頂板上側(cè)壁固定設(shè)置有水箱，且水箱內(nèi)壁密封滑動(dòng)連接有壓板，所述壓板下側(cè)壁與水箱下側(cè)內(nèi)壁對(duì)稱設(shè)置有彈簧，且壓板與水箱下側(cè)內(nèi)壁之間設(shè)置有適量的液壓油，所述水箱側(cè)壁上端固定連通有進(jìn)水管，所述檢測(cè)臺(tái)上放置有鑲塊，且支撐板側(cè)壁下端對(duì)稱設(shè)置有與鑲塊匹配的夾緊定位裝置。本實(shí)用新型利用加入水箱內(nèi)水的重力實(shí)現(xiàn)對(duì)鑲塊的定位夾緊，同時(shí)隨著檢測(cè)結(jié)束，水量流失又能實(shí)現(xiàn)對(duì)鑲塊的自動(dòng)卸料，避免了傳統(tǒng)的伸縮氣缸的使用，降低生產(chǎn)制造成本，檢測(cè)結(jié)果精準(zhǔn)。?? |
