一種溫度加速度復(fù)合型石英擺片的制備方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202010753389.2 申請日 -
公開（公告）號 CN111751574B 公開（公告）日 2022-01-28
申請公布號 CN111751574B 申請公布日 2022-01-28
分類號 G01P15/08（2006.01）I;G01K7/22（2006.01）I 分類 測量；測試;
發(fā)明人 王立會;陳天平;謝成林;郭星;杜慧霞 申請（專利權(quán)）人 保定開拓精密儀器制造有限責(zé)任公司
代理機(jī)構(gòu) 北京圣州專利代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 王振佳
地址 074004河北省保定市白溝新城友誼東路CT機(jī)工業(yè)園
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種溫度加速器復(fù)合型石英擺片的制備方法，包括：S1、晶圓基材清洗，S2、晶圓正面金屬層沉積，S3、晶圓背面金屬層沉積，S4、勻膠、曝光，S5、顯影，S6、金屬層腐蝕，S7、基材腐蝕，S8、老化，S9、存儲。溫度傳感器直接設(shè)置在擺片上，石英的擺片能夠同時(shí)感受到加速度和溫度信號，并且兩個(gè)信號是實(shí)時(shí)同步的?？刂茊卧詮臄[片上采集到的溫度信號作為依據(jù)，對加速度計(jì)進(jìn)行溫度補(bǔ)償，從而消除當(dāng)環(huán)境溫度突變時(shí)造成的溫度補(bǔ)償滯后的問題，提高加速度計(jì)測量的精度本發(fā)明采用上述溫度加速度復(fù)合型石英擺片的制備方法，能夠解決現(xiàn)有的溫度傳感器采集到的溫度滯后造成補(bǔ)償滯后的問題。