一種溫度加速度復(fù)合型石英擺片的制備方法
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN202010753389.2 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開（公告）號(hào) | CN111751574A | 公開（公告）日 | 2020-10-09 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN111751574A | 申請(qǐng)公布日 | 2020-10-09 |
| 分類號(hào) | G01P15/08(2006.01)I;G01K7/22(2006.01)I | 分類 | 測(cè)量；測(cè)試; |
| 發(fā)明人 | 王立會(huì);陳天平;謝成林;郭星;杜慧霞 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 | 保定開拓精密儀器制造有限責(zé)任公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 北京圣州專利代理事務(wù)所（普通合伙） | 代理人 | 王振佳 |
| 地址 | 074004河北省保定市白溝新城友誼東路CT機(jī)工業(yè)園 | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本發(fā)明公開了一種溫度加速器復(fù)合型石英擺片的制備方法，包括：S1、晶圓基材清洗，S2、晶圓正面金屬層沉積，S3、晶圓背面金屬層沉積，S4、勻膠、曝光，S5、顯影，S6、金屬層腐蝕，S7、基材腐蝕，S8、老化，S9、存儲(chǔ)。溫度傳感器直接設(shè)置在擺片上，石英的擺片能夠同時(shí)感受到加速度和溫度信號(hào)，并且兩個(gè)信號(hào)是實(shí)時(shí)同步的?？刂茊卧詮臄[片上采集到的溫度信號(hào)作為依據(jù)，對(duì)加速度計(jì)進(jìn)行溫度補(bǔ)償，從而消除當(dāng)環(huán)境溫度突變時(shí)造成的溫度補(bǔ)償滯后的問題，提高加速度計(jì)測(cè)量的精度本發(fā)明采用上述溫度加速度復(fù)合型石英擺片的制備方法，能夠解決現(xiàn)有的溫度傳感器采集到的溫度滯后造成補(bǔ)償滯后的問題。?? |
