一種石英擺片的制備方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202010751436.X 申請日 -
公開（公告）號 CN111847847A 公開（公告）日 2020-10-30
申請公布號 CN111847847A 申請公布日 2020-10-30
分類號 C03B20/00(2006.01)I 分類 玻璃；礦棉或渣棉;
發(fā)明人 王立會;陳天平;李克光;韓紅賓;郭星 申請（專利權(quán)）人 保定開拓精密儀器制造有限責任公司
代理機構(gòu) 北京圣州專利代理事務所（普通合伙） 代理人 王振佳
地址 074004河北省保定市白溝新城友誼東路CT機工業(yè)園
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種石英擺片的制備方法，包括：S1、晶圓基材清洗，S2、晶圓正面金屬層沉積，S3、晶圓背面金屬層沉積，S4、勻膠、曝光，S5、顯影，S6、金屬層腐蝕，S7、基材腐蝕，S8、取片、存儲。晶圓上均勻的設置有若干個擺片，同時可以對多個擺片進行加工，不僅提高了擺片的加工效率，而且提高了擺片質(zhì)量的一致性。使用光刻工藝對晶圓上沉積金屬層進行加工，使得金屬層具有掩膜的作用，能夠提高產(chǎn)品的加工精度。本發(fā)明采用上述石英擺片的制備方法，能夠解決現(xiàn)有的擺片生產(chǎn)效率低、精度低和質(zhì)量穩(wěn)定性差的問題。??