垂直型濺射系統(tǒng)

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201820112880.5 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN208038541U 公開（公告）日 2018-11-02
申請(qǐng)公布號(hào) CN208038541U 申請(qǐng)公布日 2018-11-02
分類號(hào) C23C14/34 分類 對(duì)金屬材料的鍍覆；用金屬材料對(duì)材料的鍍覆；表面化學(xué)處理；金屬材料的擴(kuò)散處理；真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學(xué)氣相沉積法的一般鍍覆；金屬材料腐蝕或積垢的一般抑制〔2〕;
發(fā)明人 白雨成;全義九;李相文;張昌泳;丁鐘國(guó);邊娜恩 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 勝顯（上海）商貿(mào)有限公司
代理機(jī)構(gòu) 上海漢聲知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 勝顯（上海）商貿(mào)有限公司;株式會(huì)社SELCOS
地址 韓國(guó)京畿道華城市東灘面東灘工業(yè)園10路42
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型涉及一種垂直型濺射系統(tǒng)，包括與地面垂直設(shè)置在第一濺射槍的第一垂直靶材組件；及設(shè)置在面對(duì)第一濺射槍的第二濺射槍，并設(shè)置為與第一垂直靶材組件相隔彼此面對(duì)的第二垂直靶材組件，第一及第二垂直靶材組件分別包括釋放薄膜形成物質(zhì)的靶材；將靶材固定在濺射槍的靶材夾具；覆蓋靶材夾具，并與靶材連接相同電極的屏蔽部件。本實(shí)用新型優(yōu)點(diǎn)如下：靶材夾具與屏蔽部件之間不會(huì)發(fā)生短路，可以對(duì)被濺鍍物有效地進(jìn)行濺射。本實(shí)用新型使被濺鍍物可通過(guò)相互面對(duì)垂直設(shè)置的一對(duì)垂直靶材組件，具有可以減小安裝面積的優(yōu)點(diǎn)。而且，相互面對(duì)的2個(gè)垂直靶材組件分別向相互面對(duì)的2個(gè)被濺鍍物進(jìn)行濺鍍，具有提高濺射生產(chǎn)率的優(yōu)點(diǎn)。