一種濺鍍裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201820112876.9 申請日 -
公開（公告）號 CN208038540U 公開（公告）日 2018-11-02
申請公布號 CN208038540U 申請公布日 2018-11-02
分類號 C23C14/34;C23C14/56 分類 對金屬材料的鍍覆；用金屬材料對材料的鍍覆；表面化學(xué)處理；金屬材料的擴(kuò)散處理；真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學(xué)氣相沉積法的一般鍍覆；金屬材料腐蝕或積垢的一般抑制〔2〕;
發(fā)明人 白雨成;全義九;李相文;張昌泳;丁鐘國;邊娜恩 申請（專利權(quán)）人 勝顯（上海）商貿(mào)有限公司
代理機(jī)構(gòu) 上海漢聲知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 勝顯（上海）商貿(mào)有限公司;株式會社SELCOS
地址 韓國京畿道華城市東灘面東灘工業(yè)園10路42
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型公開一種濺鍍裝置，包括：引入了載體的第一負(fù)載鎖定室組件；可與所述第一負(fù)載鎖定室組件選擇性連通的工藝室組件；以及可與所述工藝室組件選擇性連通的，所述載體被引出的第二負(fù)載鎖定室組件，所述第一負(fù)載鎖定室組件或所述第二負(fù)載鎖定室組件與所述工藝室組件相鄰并連接，由真空度逐漸變高的至少3個以上的真空室組成。本實用新型使用壓力逐漸降低的多個真空室將載體引入高真空室，縮短建立真空的時間，從而縮短生產(chǎn)一個產(chǎn)品所需的節(jié)拍時間。通過連接管連接多個真空室，進(jìn)入事先設(shè)定的壓力狀態(tài)，增加氣泵排放空氣的有效時間。氣泵使相互連通的真空室保持事先設(shè)定的真空度狀態(tài)，減少氣泵的電力消耗，還防止氣泵損壞。