一種利用RTS的CIGS薄膜型太陽(yáng)能電池的制備裝置

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201820128774.6 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN208038536U 公開（公告）日 2018-11-02
申請(qǐng)公布號(hào) CN208038536U 申請(qǐng)公布日 2018-11-02
分類號(hào) C23C14/24;C23C14/06;H01L31/18 分類 對(duì)金屬材料的鍍覆；用金屬材料對(duì)材料的鍍覆；表面化學(xué)處理；金屬材料的擴(kuò)散處理；真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學(xué)氣相沉積法的一般鍍覆；金屬材料腐蝕或積垢的一般抑制〔2〕;
發(fā)明人 白雨成;全義九;李相文;張昌泳;丁鐘國(guó);邊娜恩 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 勝顯（上海）商貿(mào)有限公司
代理機(jī)構(gòu) 上海漢聲知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 勝顯（上海）商貿(mào)有限公司;株式會(huì)社SELCOS
地址 韓國(guó)京畿道華城市東灘面東灘工業(yè)園10路42
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型提供了一種利用RTS(快速熱升華)的CIGS薄膜型太陽(yáng)能電池的制備裝置，包括真空腔；被固定在所述真空腔蓋內(nèi)側(cè)面的基板加熱器驅(qū)動(dòng)部；被安裝在設(shè)置于真空腔底面上并與所述基板加熱用加熱器相隔預(yù)定距離的放置部上的基板；設(shè)置在所述基板下方的近距離蒸發(fā)源；根據(jù)操作人員的操作進(jìn)行發(fā)熱的元素加熱用加熱器；設(shè)置在所述近距離蒸發(fā)源和所述元素加熱用加熱器之間，將所述元素加熱用加熱器產(chǎn)生的熱量施加到所述近距離蒸發(fā)源的石英窗口。本實(shí)用新型利用RTS沉積硒，通過(guò)基板用高溫加熱形成結(jié)晶，制備銅?銦?鎵?硒太陽(yáng)能電池單元，有效避免了H2Se或H2S等有毒氣體；簡(jiǎn)化了薄膜太陽(yáng)能電池制造工藝，節(jié)約了成本，提高了生產(chǎn)率。