一種多層石墨烯的刻蝕方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201610515119.1 申請日 -
公開（公告）號 CN106128947A 公開（公告）日 2016-11-16
申請公布號 CN106128947A 申請公布日 2016-11-16
分類號 H01L21/306(2006.01)I;H01L21/3065(2006.01)I;G03F7/004(2006.01)I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 李恕廣;李泰朧;王連軍 申請（專利權(quán)）人 山東賽帝格新材料有限責(zé)任公司
代理機構(gòu) 煙臺上禾知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 劉志毅
地址 264000 山東省煙臺市萊山經(jīng)濟開發(fā)區(qū)澳柯瑪大街101號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種多層石墨烯的刻蝕方法，包括：A、在多層石墨烯的表面涂刷光刻膠，然后對光刻膠進行曝光處理，然后使用顯影液對光刻膠進行清洗；B、根據(jù)刻蝕深度的不同，在光刻膠相應(yīng)的位置涂刷不同厚度的刻蝕緩沖劑；C、將多層石墨烯放入反應(yīng)腔室內(nèi)，腔室抽真空；向反應(yīng)腔室內(nèi)注入乙烷，然后對反應(yīng)腔室進行加熱，并開啟射頻電源，對多層石墨烯的表面進行第一次刻蝕；D、用去離子水對經(jīng)過第一次刻蝕的多層石墨烯進行清洗，然后自然風(fēng)干；E、將多層石墨烯浸入酸性刻蝕液中，進行第二次刻蝕；F、使用剝離液對多層石墨烯表面殘留的光刻膠進行清除。本發(fā)明可以解決現(xiàn)有技術(shù)的不足，實現(xiàn)了對于刻蝕過程的精確控制。