一種多層石墨烯的刻蝕方法

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201610515119.1 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN106128947B 公開(kāi)（公告）日 2019-01-29
申請(qǐng)公布號(hào) CN106128947B 申請(qǐng)公布日 2019-01-29
分類號(hào) H01L21/306（2006.01）I; H01L21/3065（2006.01）I; G03F7/004（2006.01）I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 李恕廣; 李泰朧; 王連軍 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 山東賽帝格新材料有限責(zé)任公司
代理機(jī)構(gòu) 煙臺(tái)上禾知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 劉志毅
地址 264000 山東省煙臺(tái)市牟平區(qū)官莊4街2號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開(kāi)了一種多層石墨烯的刻蝕方法，包括：A、在多層石墨烯的表面涂刷光刻膠，然后對(duì)光刻膠進(jìn)行曝光處理，然后使用顯影液對(duì)光刻膠進(jìn)行清洗；B、根據(jù)刻蝕深度的不同，在光刻膠相應(yīng)的位置涂刷不同厚度的刻蝕緩沖劑；C、將多層石墨烯放入反應(yīng)腔室內(nèi)，腔室抽真空；向反應(yīng)腔室內(nèi)注入乙烷，然后對(duì)反應(yīng)腔室進(jìn)行加熱，并開(kāi)啟射頻電源，對(duì)多層石墨烯的表面進(jìn)行第一次刻蝕；D、用去離子水對(duì)經(jīng)過(guò)第一次刻蝕的多層石墨烯進(jìn)行清洗，然后自然風(fēng)干；E、將多層石墨烯浸入酸性刻蝕液中，進(jìn)行第二次刻蝕；F、使用剝離液對(duì)多層石墨烯表面殘留的光刻膠進(jìn)行清除。本發(fā)明可以解決現(xiàn)有技術(shù)的不足，實(shí)現(xiàn)了對(duì)于刻蝕過(guò)程的精確控制。