一種銅銦鎵硒薄膜電池控制系統(tǒng)

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201220734675.5 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN203007382U 公開(kāi)（公告）日 2013-06-19
申請(qǐng)公布號(hào) CN203007382U 申請(qǐng)公布日 2013-06-19
分類(lèi)號(hào) C23C14/06(2006.01)I;C23C14/24(2006.01)I;C23C14/54(2006.01)I;H01L31/18(2006.01)I 分類(lèi) 對(duì)金屬材料的鍍覆；用金屬材料對(duì)材料的鍍覆；表面化學(xué)處理；金屬材料的擴(kuò)散處理；真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學(xué)氣相沉積法的一般鍍覆；金屬材料腐蝕或積垢的一般抑制〔2〕;
發(fā)明人 于素豪 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人 漢能新能源研發(fā)中心有限公司
代理機(jī)構(gòu) - 代理人 -
地址 102209 北京市昌平區(qū)北七家鎮(zhèn)宏福創(chuàng)業(yè)園15號(hào)院
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型涉及一種銅銦鎵硒薄膜電池控制系統(tǒng)，尤其涉及一種共蒸發(fā)法制備銅銦鎵硒薄膜工藝中的控制系統(tǒng)，其包括真空室、蒸發(fā)源、基片、加熱模塊和控制系統(tǒng)，所述控制系統(tǒng)僅包括溫度控制系統(tǒng)。本實(shí)用新型通過(guò)溫度變化為控制特征的控制系統(tǒng)實(shí)現(xiàn)了銅銦鎵硒薄膜電池制備工藝低成本，以及通過(guò)控制系統(tǒng)直接影響系統(tǒng)制備CIGS薄膜的質(zhì)量。