一種線性蒸發(fā)源裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201220704968.9 申請日 -
公開（公告）號 CN202968676U 公開（公告）日 2013-06-05
申請公布號 CN202968676U 申請公布日 2013-06-05
分類號 C23C14/26(2006.01)I 分類 對金屬材料的鍍覆；用金屬材料對材料的鍍覆；表面化學(xué)處理；金屬材料的擴散處理；真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學(xué)氣相沉積法的一般鍍覆；金屬材料腐蝕或積垢的一般抑制〔2〕;
發(fā)明人 于大洋;王葛;丁建 申請（專利權(quán)）人 漢能新能源研發(fā)中心有限公司
代理機構(gòu) - 代理人 -
地址 102209 北京市昌平區(qū)北七家鎮(zhèn)宏福創(chuàng)業(yè)園15號院
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型涉及一種蒸發(fā)源裝置，尤其涉及一種銅銦鎵硒薄膜電池生產(chǎn)工藝中的線性蒸發(fā)源裝置。該線性蒸發(fā)源裝置包括：材料腔室、噴嘴蓋和加熱源，所述噴嘴蓋位于所述材料腔室的上方并具有多個噴嘴，所述加熱源的數(shù)量為兩個或兩個以上，均勻分布在所述材料腔室的下方，且每個所述加熱源具有獨立的控溫系統(tǒng)。該線性蒸發(fā)源裝置實現(xiàn)了分區(qū)控溫，從而提高了銅銦鎵硒共蒸發(fā)工藝中對蒸發(fā)量的控制靈活性，同時有效降低了因長時間使用導(dǎo)致的噴嘴堵塞對鍍膜均勻性的影響。