一種熱場(chǎng)可調(diào)的泡生法晶體生長(zhǎng)爐

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201110061061.5 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN102677168A 公開（公告）日 2012-09-19
申請(qǐng)公布號(hào) CN102677168A 申請(qǐng)公布日 2012-09-19
分類號(hào) C30B29/20(2006.01)I;C30B15/00(2006.01)I 分類 晶體生長(zhǎng)〔3〕;
發(fā)明人 廖永建;徐煒;沈禹;孫礦 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 上海晨安電爐制造有限公司
代理機(jī)構(gòu) - 代理人 -
地址 201804 上海市嘉定區(qū)黃渡工業(yè)園區(qū)春濃路278號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明提供一種熱場(chǎng)可調(diào)的泡生法晶體生長(zhǎng)爐，屬于晶體生長(zhǎng)設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域。本發(fā)明通過將上保溫層連接到上保溫層升降裝置，借助升降裝置可調(diào)整上保溫層的位置，從而調(diào)整坩堝及物料所處的散熱邊界條件，進(jìn)而對(duì)熱場(chǎng)進(jìn)行及時(shí)有效的調(diào)節(jié)。此外，結(jié)合冷卻水量調(diào)節(jié)，籽晶桿提拉與旋轉(zhuǎn)，降溫等手段，系統(tǒng)調(diào)控?zé)釄?chǎng)的能力大大加強(qiáng)，可針對(duì)晶體生長(zhǎng)不同階段對(duì)熱場(chǎng)的不同需求，不同設(shè)備、同一設(shè)備不同爐次以及同爐次不同工藝過程間的差異以及其它諸如投料量、環(huán)境條件等發(fā)生改變的情況作出靈活有效的調(diào)整，可大大提高晶體質(zhì)量和成品率，同時(shí)，有效地提高了工藝的穩(wěn)定性及重復(fù)性，特別適合大尺寸藍(lán)寶石晶體產(chǎn)業(yè)化生產(chǎn)。